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當前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品檢測真空探針臺KT-Z1604TZ-RL分子泵≤10-3Pa真空探針臺

分子泵≤10-3Pa真空探針臺

產(chǎn)品簡介

分子泵≤10-3Pa真空探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。

產(chǎn)品型號:KT-Z1604TZ-RL
更新時間:2024-03-29
廠商性質:生產(chǎn)廠家
訪問量:1599
詳細介紹在線留言
品牌鄭科探

分子泵≤10-3Pa真空探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。


  分子泵≤10-3Pa真空探針臺該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:030mmy方向調(diào)節(jié)范圍:020mmz方向調(diào)節(jié)范圍:020mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測



加熱型

冷熱型

腔體材質

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側開

加熱臺材質

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

35-350℃

-196-350℃

加熱臺溫控誤差

±1℃

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMA轉BNC X 4

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V  漏電流 ≤-10次方安培

探針數(shù)量

4探針

探針材質

鍍金鎢針

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5倍

工作間距

90mm

相機

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

顯示屏

8寸

放大倍數(shù)

19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,小可分辨0.08mm



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